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基于硅衬底的TiO2紫外探测器的研制 2018.04.14

| 成果概况

研制一种新型TiO2基光伏型MSM(金属-半导体-金属)平面结构紫外探测器。在此基础上,在宽禁带半导体TiO2薄膜表面制备平面线型叉指电极,使其和半导体TiO2形成“背靠背”的金属-半导体-金属双肖特基势垒结构的紫外探测器。此项技术可以克服单片集成的大面积、阵列化半导体紫外探测器和紫外成像系统研究中存在的缺乏合适衬底和有效工艺手段的困难,有效解决紫外探测器阵列外电路连接及器件集成一体化所面临的难题。


| 成果成熟度

小试阶段。


| 应用领域及市场前景

紫外光电探测器在国防、紫外天文学、环境监测、火灾探测、涡轮引擎燃烧效率监测、可燃气体成分分析和生物细胞癌变检测等方面有着广泛的应用,具有极高的军事和民用价值。目前的紫外探测器仍然以硅基紫外光电管和光电倍增管等为主,难以满足现代电子技术的发展。近年来,基于导弹紫外辐射探测的紫外报警和跟踪技术发展极为迅猛,并对紫外探测器件提出更高的要求。因此有关体积小、效率高、成本低、易于集成、适于在恶劣环境下工作的新型宽禁带半导体紫外探测器及大尺寸紫外成像器件的研究成为国际上光电探测领域的研究热点。

| 合作方式

合作开发、技术入股。



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