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基于SOI光波导的反射型热光可变光衰减器及制备方法 2018.04.14

| 成果概况

密集波分复用技术在光纤通信的迅猛发展中起了重要作用,可变光衰减器是密集波分复用系统中的关键器件之一,具有均衡光功率的作用,其重要性日益凸显。本成果研制基于SOI的热光反射型可变光衰减器阵列,它由单模波导、渐变taper型波导、多模波导和调制电极,整个器件集成在SOI衬底上。采用热光反射型调制方式在原理上具有对波长不敏感的特性,可以在较宽的带宽范围内实现衰减;采用半导体的光刻和刻蚀工艺,可以精确控制波导形貌,提高器件综合性能;采用SOI衬底,使得器件易于和其他光通信器件实现混合集成。




| 成果成熟度

小试阶段。


| 应用领域及市场前景

SOI光波导可变光衰减器具有简单的结构以及高可靠性,并利于高度集成,能满足未来光通信的需求,随着技术的发展和成熟,越来越多的被关注。本成果主要目的就是制作出结构简单,可靠性高的基于SOI的热光反射型可变光衰减器阵列,对推进我国光通信无源器件技术的发展做出贡献。


| 合作方式

合作开发、技术入股。



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